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紫外線中波長在200納米至350納米的光線被稱為深紫外線,被廣泛用于凈水廠、醫(yī)院、工廠無塵車間的空氣殺菌、處理甲醛等領(lǐng)域。過去,很多深紫外線光源采用水銀燈,但聯(lián)合國去年組織各方簽訂的《水俁公約》規(guī)定要大幅限制水銀的使用,所以有必要開發(fā)替代光源。
深紫外線LED就可以用來替代水銀燈,但是過去制作深紫外線LED時要用昂貴的藍寶石做基板,其高昂成本限制了普及程度。立命館大學高級研究員青柳克信等人報告說,可以利用廉價的硅酮取代藍寶石作為基板,從而能大幅削減成本。
此外,過去的工藝中為了讓電流通過,需要剝離基板上的一部分絕緣層。而新方法是在硅酮基板上附著一層氮化鋁作為絕緣體,然后在上面開出多個微孔讓電流通過。這樣做無需剝離絕緣層,大幅縮短了工序,以前需要5天的制作工作可以縮短到1天,而且避免了剝離絕緣層時對LED的損傷,發(fā)光效率也得到提高。
研究小組認為,新方法可大幅削減深紫外線LED的制造成本,有望促進這種深紫外線光源的大規(guī)模生產(chǎn)和廣泛應用。
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